多聯(lián)玻璃過濾器制作采用的是硅微細(xì)加工工藝和硅深層刻蝕工藝。在設(shè)計(jì)多聯(lián)玻璃過濾器時(shí),至少有兩個(gè)問題需要考慮:(1)過濾器的結(jié)構(gòu)。傳統(tǒng)的過濾器稱為膜,透過性和篩選性是膜的兩個(gè)重要特性[3]。如果把多聯(lián)玻璃過濾器近似看作一種濾膜,由于其孔徑大,透過性好,因此流體流速快,過濾通道不容易堵塞,但篩選性差,只能過濾比其孔徑大的微粒;(2)制作工藝。多聯(lián)玻璃過濾器的制作工藝要盡量簡單,掩模版的使用以及硅 硅鍵合、高聚物鍵合的次數(shù)要盡量少[4]。基于這些考慮,本文設(shè)計(jì)了在硅基底上刻蝕出深200μｍ的矩形槽,并在槽的底部刻蝕線寬10μｍ(理論設(shè)計(jì))、周期40μｍ、有效過濾面積為10ｍｍ×3ｍｍ的條狀網(wǎng)柵,形成條柵狀多聯(lián)玻璃過濾器(圖1)。加工時(shí)雙面光刻一次,不需要掩模版的堆迭,也不需要硅 硅或者硅 玻璃的鍵合,干法刻蝕則可狹縫的尺寸和垂直度。

　　此多聯(lián)玻璃過濾器由兩段組成,*段主要是圓筒形玻璃纖維膜壓濾芯(管狀28根)組成過濾段,濾芯安裝在有支座的管板上,管板的每個(gè)支座都有一根Ｚ形或Ｘ形的支撐桿,濾芯及其封頭通過支撐桿,用螺栓牢固地固定在管板上。再用固定架將濾芯的自由端固定起來,通過拆裝固定架和螺栓,可以拆裝、清洗、更換濾芯。第二段為分離段。分離段內(nèi)安裝有由不銹鋼金屬絲網(wǎng)構(gòu)成的絲網(wǎng)墊層分離除霧、聚結(jié)裝置,過濾段與分離段之間用管板隔開,多聯(lián)玻璃過濾器下部是一個(gè)儲液罐,此罐與過濾、分離段相對應(yīng)地分成兩段,過濾段和分離段分離出的液體分別通過各自的降液管進(jìn)入儲液罐中。

　　多聯(lián)玻璃過濾器采用氣動排污閥，反沖洗歷時(shí)短，反沖洗耗水量少，環(huán)保經(jīng)濟(jì)。易損件少，無耗材，運(yùn)行維護(hù)費(fèi)用低，操作管理簡單。結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)緊湊合理，占地面積小，安裝移動靈活方便。運(yùn)行，可以根據(jù)不同水源和過濾精度靈活調(diào)整反沖洗壓差時(shí)間和時(shí)間設(shè)定值。本裝置內(nèi)襯微孔濾膜，可用于化學(xué)分析，儀器分析，衛(wèi)生檢驗(yàn)，制藥工業(yè)，生物制品和農(nóng)藥，石油，環(huán)保監(jiān)測等方面液體過濾，以監(jiān)測和除去液體中的微粒和細(xì)菌。多聯(lián)玻璃過濾器主要應(yīng)用于水相,有機(jī)相,及腐蝕性液體的過濾,用于特定污染物的分析，特別用于HPLC流動相的過濾,有一定的脫氣作用,以流動相的潔凈，防止HPLC液路的堵塞.也可用于無菌試驗(yàn)，培養(yǎng)除菌過濾,熱敏性藥物的除菌過濾。

　　多聯(lián)玻璃過濾器是設(shè)置在流體系統(tǒng)中,用于過濾流體中的粒子以控制污染的一種裝置。表面過濾作用是通過固體污染物的粒子碰撞而滯留在單一平面或面上的毛孔或通路的基體上而完成的,過濾作用僅僅發(fā)生于這一表面上。表面過濾能有效地收集大于毛孔尺寸的粒子,但卻不能收集纖維和比毛孔尺寸小的粒子。深度過濾是通過固體污染物碰撞而留在連續(xù)的(或深度的)毛孔的基體上而完成的。過濾不僅在介體表面進(jìn)行,而且還在介體的整個(gè)厚度上進(jìn)行。多聯(lián)玻璃過濾器通過深度過濾能有效地收集大于zui大毛孔尺寸的粒子和纖維,同時(shí),憑借于其過濾介體的型式和厚度,它也能同樣收集一部分比zui大毛孔尺寸小的污染物。